电子厂废气处理的性能特点：
1、吸附效率高，能力强；
2、备构造紧凑，占地面积小，维护管理简单；
3、采用自动化控制运转设计，操作简易、安全；
4、全密闭型，室内外皆可使用；
5、利用率高，无二次污染。
电子厂废气处理的方法：
（1）活性炭吸附法
吸附法主要原理就是利用多孔固体吸附剂来处理有机废气，这样就能够通过化学键力或者是分子引力充分吸附有害成分，并且将其吸附在吸附剂的表面，从而达到净化有机废气的目的。吸附法目前主要应用于大风量、低浓度、无颗粒物、无粘性物、常温的低浓度有机废气净化处理。
活性炭净化率高（活性炭吸附可达到95%以上），实用遍及，操纵简单，投资低。在吸附饱和以后需要更换新的活性炭，更换活性炭需要费用，替换下来的饱和以后的活性炭也是需要找专业人员进行危废处理，运行费用高。
（2）等离子法
等离子法利用等离子体内部产生富含较高化学活性的特点，使用高压放电装置在放电时产生高能电子和离子，将空气中的氧分子进行分离，氧分子吸收能量后产生游离态的氧离子，有机废气污染物与游离氧基团发生反应，转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。
此种方法具有适用范围广，净化效率高，设备占地面积小特点，适用于其他方法较难处理的有机废气体；但由于采用高压放电装置，在含水、含尘、有机废气浓度较高的密闭空间易发生爆炸，存在安全隐患，因而限制了其使用。
（3）燃烧法
燃烧法只在挥发性有机物在高温及空气充足的条件下进行燃烧，分解为CO2和H2O。燃烧法适用于各类有机废气，可以分为直接燃烧、热力燃烧和催化燃烧。
